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中国电科工业根底研究院固态微波器材与电路全国重点实验室金刚石团队,在金刚石异质结获得打破,打造出首个立方相氮化/金刚石异质结资料和场效应晶体管。科研团队立异提出畴匹配外延成长形式,使用金刚石外表氢终端当作调控反响的渠道,构成高质量单晶立方氮化/金刚石异质结,并成功研制出高性能增强型异质结场效应晶体管。这项作业完成了从理论计算到资料制备,再到器材验证的要害联接,为高性能金刚石射频器材供给了资料根底。团队开发的异质结外延办法为资料制备供给新范式。下一步,团队将持续优化资料与器材工艺,推进异质结技术发展,支撑新一代超宽禁带